Stage M2 – Conception et caractérisation d’un dispositif ultrasonore pour la transmission extraordinaire des ondes de surface

Pour améliorer la résolution de l’imagerie ultrasonore, le principal levier utilisé est l’augmentation de la fréquence d’excitation afin de réduire la longueur d’onde. Dans le cadre du projet ANR BEAT (2022-2025), nous proposons d’utiliser une autre approche : la focalisation sub-longueur d’onde de l’énergie acoustique afin de réduire la taille de la tache focale en-dessous de la limite de diffraction. Cette approche se base sur le concept de transmission extraordinaire des ondes acoustiques (en anglais : EAT) qui permet de concentrer, dans une zone de taille inférieure à la longueur d’onde, une quantité d’énergie acoustique supérieure à celle attendue par les seules considérations géométriques. Dans ce stage, il est proposé de réaliser et d’étudier un prototype d’EAT expérimental pour les ondes de surfaces. L’approche envisagée dans ces travaux est d’utiliser des techniques de dépôts et de fabrications à bas coûts pour la réalisation du dispositif ultrasonore EAT. Les méthodes à considérer pour la réalisation des dispositifs est le dépôt traditionnel par pulvérisation cathodique (PVD). La réalisation des dispositifs (substrat piézoélectrique, masque, dépôt des électrodes, connectique) s’appuiera sur des résultats préliminaires obtenus lors d’un stage recherche Master 2 effectué au laboratoire GREMAN en 2022.

Les différentes étapes envisagées au cours de ce stage sont les suivantes :
– Étude bibliographique des procédés de fabrication pour les capteurs à ondes de surfaces ;
– Réalisation des électrodes par PVD à partir des masques à disposition ;
– Caractérisation des propriétés électriques et acoustiques des capteurs à l’aide de mesures par analyseur de réseaux ;
– Etude de l’influence des paramètres de fabrication sur les propriétés électriques du capteur;
– Dépôt/collage du capteur SAW sur un substrat de référence, validation du prototype ;
– Dépôt/collage du capteur sur un substrat avec une architecture résonante (“EAT”). Comparaison avec le substrat de référence.

Plus d’informations sur le lien ci-dessous.